HIỆU CHỈNH PHÉP ĐO PHA VÀ DỊCH CHUYỂN TRONG GIAO THOA KẾ HOMODYNE ĐIỀU BIẾN TẦN SỐ

Tóm tắt

Bài báo đề xuất phương pháp tính pha hiệu chỉnh trong hàm tan-1, dựa trên thuật toán khuếch đại khóa tần (LIA) của giao thoa kế homodyne có điều biến tần số, nhằm đo dịch chuyển với độ chính xác nanomet. Pha chưa hiệu chỉnh bị ảnh hưởng bởi sự thay đổi của tỉ số các hàm Bessel do sự thay đổi của chỉ số điều biến m theo dịch chuyển gương. Phương pháp mới loại bỏ tỉ số Bessel trong tan-1, giúp tính pha chính xác hơn. So với cách tính trước, pha hiệu chỉnh cho sai số nhỏ hơn đáng kể và hỗ trợ đo lường chính xác với độ phân giải dưới 1 nm

Title

PHASE AND DISPLACEMENT CORRECTION IN FREQUENCY-MODULATED HOMODYNE INTERFEROMETRY

Abstract

The paper proposes a phase correction method in the tan-1 function, based on the lockin amplifier (LIA) algorithm in a frequency-modulated homodyne interferometer, for nanometerprecision displacement measurement. The variation of the Bessel function ratio caused by the change in the modulation index m as the mirror moves affects the uncorrected phase. The proposed method eliminates the Bessel function ratio in the tan-1 calculation, enabling more accurate phase estimation. Compared to the previous approach, the corrected phase yields significantly lower error and supports sub-nanometer-level high-precision measurements