NGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA ÁP SUẤT PHÚN XẠ TỚI TỐC ĐỘ LẮNG ĐỌNG CỦA LỚP PHỦ CrN TRÊN NỀN THÉP SKD6

Tóm tắt

Trong kỹ thuật phún xạ, áp suất khí là một trong những thông số quan trọng. Nó ảnh hưởng tới tốc độ bóc tách vật liệu đế cũng như tốc độ lắng đọng lớp phủ. Nội dung bài báo khảo sát sự ảnh hưởng của áp suất đến tốc độ lắng đọng của lớp phủ CrN trên nền thép SKD6 bằng phương pháp phún xạ xung một chiều có từ trường (Pulsed DC magnetron), có sử dụng phần mềm EZ v4.12 tích hợp trên kính hiển vi quang học Leica DM750M để xác định chiều dày lớp phủ. Kết quả nghiên cứu cho thấy khi áp suất tăng, tốc độ lắng đọng của lớp phủ cũng có xu hướng tăng và đạt giá trị lớn nhất là 0,042 (μm/phút) trong miền áp suất khoảng 9.10-3 mBar. Tuy nhiên, khi áp suất tiếp tục tăng, tốc độ lắng đọng lại có xu hướng giảm.

Title

RESEARCHING THE EFFECT OF SPRING PRESSURE ON THE LUXURY SPEED OF CrN COATING ON SKD6 STEEL BACKGROUND

Abstract

In sputtering engineering, gas pressure is one of the important parameters. It affects the rate of substrate material removal as well as coating deposition rate. The content of the article investigates the influence of pressure on the deposition rate of CrN coating on SKD6 steel base by pulsed sputtering method with magnetic field (Pulsed DC magnetron), using EZ software v4.12 integrated on the Leica DM750M optical microscope for coating thickness determination. Research results show that when the pressure increases, the deposition rate of the coating also tends to increase and reaches the maximum value of 0.042 (μm/min) in the pressure domain of about 9.10-3 mBar. However, as the pressure continues to increase, the deposition rate tends to decrease.