NGHIÊN CỨU MÁY TỰ ĐỘNG LÀM SẠCH DỊ VẬT KÍCH THƯỚC MICRO BẰNG KHÍ THỔI SIÊU ÂM TRONG CÔNG NGHIỆP BÁN DẪN

Tóm tắt

Bài báo trình bày kết quả nghiên cứu về máy tự động làm sạch dị vật kích thước micro trên sản phẩm linh kiện điện tử/bán dẫn sử dụng trong phòng sạch dựa trên tiêu chuẩn class 10 và các tiêu chuẩn sản xuất của công ty Samsung Electro-Mechanics Việt Nam. Dựa vào bài nghiên cứu về dòng khí thổi siêu âm cũng như sản phẩm của nước ngoài, nhóm đã chế tạo, kiểm thử thành công đầu thổi siêu âm thông qua đánh giá sản phẩm thực tế; cũng như dựa vào kinh nghiệm để đề xuất thiết kế phổ quát dạng máy tự động cho các ứng dụng làm sạch dạng sản phẩm phẳng.

Title

RESEARCH ON AN AUTOMATED ULTRASONIC AIRJET MACHINE FOR MICRO-SIZED CONTAMINANT (PARTICLE) REMOVAL IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING

Abstract

This paper presents research findings on an automated machine for removing micro-sized foreign particles from electronic/semiconductor components used in cleanrooms, adhering to Class 10 standards and production specifications of Samsung Electro-Mechanics Vietnam. Based on studies of ultrasonic air jet flow and foreign products, the team successfully fabricated and validated an ultrasonic air nozzle through actual product evaluation. Drawing from experience, we propose a universal design for an automated machine applicable to cleaning flat-surface products.