NGHIÊN CỨU TỔNG QUAN VẬT LIỆU SILICON TRONG NGÀNH THIẾT BỊ BÁN DẪN

Tóm tắt

Ngành công nghiệp thiết bị bán dẫn là một trong những ngành quan trọng hiện nay, dựa trên các ứng dụng rộng rãi, có ý nghĩa về kinh tế và chiến lược. Nghiên cứu này tổng quan các công nghệ mới về chất bán dẫn, vật liệu và kiến trúc sản xuất bóng bán dẫn. Đưa ra các xu hướng mới nhất trong quy trình in thạch bản, tập trung vào in thạch bản cực tím (EUV). Ở cấp độ kiến trúc bóng bán dẫn, bài viết thảo luận về các loại bóng bán dẫn khác nhau, nhấn mạnh vào cấu trúc và đặc tính của bóng bán dẫn hiệu ứng trường (FinFET). Bài báo cũng tóm tắt lộ trình phát triển chất bán dẫn mới nhất, những hứa hẹn và thách thức trong việc theo kịp tốc độ tích hợp của Moore.

Title

OVERVIEW STUDY OF SILICON MATERIALS IN THE SEMICONDUCTIVEDEVICES INDUSTRY

Abstract

The semiconductor equipment industry is one of today's important industries, based on widespread applications that are economically and strategically significant. This study overviews new technologies in semiconductors, materials, and transistor manufacturing architecture. Covers the latest trends in lithography processes, with a focus on extreme ultraviolet (EUV) lithography. At the transistor architecture level, the article discusses different types of transistors, with an emphasis on the structure and characteristics of field-effect transistors (FinFETs). The article also summarizes the latest semiconductor development roadmap, the promises and challenges of keeping up with Moore's pace of integration.