NGHIÊN CỨU SỰ ẢNH HƯỞNG CỦA ÁP SUẤT PHÚN XẠ TỚI ĐỘ CỨNG VÀ HÌNH THÁI BỀ MẶT CỦA LỚP PHỦ CACBON GIẢN KIM CƯƠNG TRÊN NỀN THÉP AISI 316L

Tóm tắt

Màng cacbon giống kim cương (DLC) đã được phủ trên thép AISI 316L theo điều kiện áp suất khác nhau bằng phương pháp phún xạ magnetron. Hình thái học bề mặt, đặc tính cấu trúc màng và độ cứng của mẫu phủ DLC đã được đánh giá. Khi giảm áp suất, tỷ lệ liên kết sp3, độ bóng và độ cứng của màng tăng lên. Tuy nhiên, xu hướng này không thể tiếp tục duy trì khi áp suất giảm xuống 3 x 10-3 mbar. Độ cứng lớn nhất của màng đạt 2640 HV, tại điều kiện áp suất 4 x 10-3 mbar. Độ bóng thấp nhất Rz = 9,7 nm ứng với trường hợp áp suất 5,5 x 10-3 mbar.

Title

STUDYING THE EFFECT OF SPUTTERING PRESSURE ON HARDNESS AND SURFACE MORPHOLOGY OF DIAMOND-REDUCED CARBON COATING ON AISI 316L STEEL

Abstract

Magnetron sputtering has coated diamond-like carbon (DLC) films on AISI 316L steel under different pressure conditions. Surface morphology, film structural properties and hardness of DLC coated samples were evaluated. When the pressure is reduced, the sp3 bond ratio decreases, the surface roughness decreases and the hardness of the DLC film increases. However, this trend cannot continue when the pressure drops to 3 x 10-3 mbar. The maximum hardness of the film reaches 2640 HV at the pressure condition of 4 x 10-3 mbar. The highest roughness is 9,7 nm for the case of pressure 5,5 x 10-3 mbar.