Quay trở lại Chi tiết Bài báo SỬ DỤNG PHƯƠNG PHÁP PHẦN TỬ HỮU HẠN PHÂN TÍCH ẢNH HƯỞNG CỦA HIỆU ỨNG KÍCH THƯỚC HÌNH HỌC CỦA PHÔI DẠNG TẤM TRONG QUÁ TRÌNH DẬP VI MÔ ĐẾN CÁC THÔNG SỐ CÔNG NGHỆ Tải xuống Tải xuống PDF