Quay trở lại Chi tiết Bài báo NGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA TẢI TRỌNG NHỎ ĐẾN HỆ SỐ MA SÁT CỦA CẶP VẬT LIỆU SILIC – SILIC TRONG THIẾT BỊ MEMS BẰNG MÔ HÌNH CHỐT TRÊN TẤM PHẲNG Tải xuống Tải xuống PDF